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哪些因素会影响三维力传感器的巩固性
三维力传感器是具有至少一个亚毫米物理尺寸的传感器。电桥电路由一个或多个受力后发生变形的弹性体和能感应变形的电阻应变片构成，电阻应变片可固定粘贴在弹性体上。三维力传感器由三片面构成，可以传导必然应变的粘合剂和保护电子电路的密封剂。
影响三维力传感器巩固性的因素非常多，总结以下：
1、三维力传感器的布局
三维力传感器的弹性元件、外壳、膜片、上压头和下压垫的计划要包管布局在加载后没有机能颠簸，大概机能颠簸非常小。所以，在计划三维力传感器时，要包管应变区受力单纯，应力尽可能匀称。贴片片面应平整；布局具有必然的抗偏载和侧向载荷才气；安装力应远离应变区，测量时应以免受力点挪动。三维力传感器固然是组装产品，但为了包管良好的技术机能和永远巩固性，应尽可能计划成整体布局。
2、弹性元件的金属材质
弹性元件的金属质料对三维力传感器的概括机能和永远巩固性起着环节好处。应选定强度高、弹性有限、弹性模量的时间和温度巩固性好、弹性滞后小、机加工和热处分产生的残存应力低的质料。有质料评释，只要淬火质料的塑性好，机加工和热处分后的残存应力非常小。还应特别留意弹性模量随时间的巩固性，要求在三维力传感器的应用寿命内质料的弹性模量不发生变更。
3、机加工及热处分工艺
三维力传感器的弹性元件在加工历程当中，由于表面变形不匀称，产生较大的残存应力。切削量越大，残存应力越大，磨削历程产生的残存应力越大。所以，应订定合理的加工工艺和得当的切削量。弹性元件在热处分历程当中，由于金属质料的冷却温度不匀称和相变，在芯部和表层产生差别方向的残存应力。焦点是拉应力，而表层是压应力。三维力传感器应该采用回火工艺，产生反方向的内应力，从而消除残存应力，削减残存应力的影响。
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